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日本advance riko桌面型快速退火爐 熱風爐

訪問次數:1597

更新日期:2024-03-22

簡要描述:

日本advance riko桌面型快速退火爐MILA-5050
Mila-5050是一款桌面型的快速退火爐,可用于處理φ50mm以內的樣品。
用于處理φ20mm以內的Mila-5000系列自推出以來深受客戶的認可。隨著客戶對大尺寸樣品處理需求,Advance Riko在Mila-5000的基礎上推出可處理φ50mm樣品的MILA-5050。MILA-5050延續了MILA5000的緊湊設計,是一款

日本advance riko桌面型快速退火爐 熱風爐

日本advance riko桌面型快速退火爐MILA-5050

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Mila-5050是一款桌面型的快速退火爐,可用于處理φ50mm以內的樣品。
用于處理φ20mm以內的Mila-5000系列自推出以來深受客戶的認可。隨著客戶對大尺寸樣品處理需求,Advance Riko在Mila-5000的基礎上推出可處理φ50mm樣品的MILA-5050。MILA-5050延續了MILA5000的緊湊設計,是一款集成加熱爐,加熱腔及溫控器與一體的桌面型快速退火爐。

用途

  • 硅片和復合圓晶的快速退火

  • 電子材料的快速熱退火,例如光學CVD的基板

  • 玻璃基板,陶瓷和復合材料等的熱處理

  • 熱循環測試

  • 金屬材料的熱退火

  • 涂膜的耐熱性評估

  • 有機材料和樹脂的加熱和干燥

特長

  • 可對φ50mm以內的樣品進行熱處理

  • 最高熱處理溫度1200℃

  • 集成加熱爐,加熱腔及溫控器與一體的桌面型設計

  • 搭配水冷循環腔體,可進行潔凈的快速升降溫。

  • 通過USB連接,可將溫控程序輸入到電腦

  • 加熱過程中可通過電腦監測溫度數據;

仕様

控溫范圍RT ~ 1200 °C
升溫速率50 °C/s
樣品尺寸□ 50 or φ 50 × t 2 (mm)
氣氛真空,流動氣氛

* 可選配件:真空泵
* 加熱溫度or升溫速率根據被加熱樣品的紅外反射率,吸收率,熱容和材料而變化。

均勻性測試

  • ① 500℃,Δt = 3.2℃

  • ② 800℃,Δt = 0.6℃

  • ③ 1000℃,Δt = 4.2℃

  • ④ 1200℃,Δt = 2.6℃

樣品安裝(2英寸樣品)

可選配件:SiC包覆的石墨樣品臺 , 石英樣品支架

安裝需求

電源AC200V , 5kW
冷卻水流速≥ 6L/minn
水壓≥0.3Mpa
外形尺寸450(W) x 492(D) x 219(H) mm (不包含突出部分)
重量約 24kg

可選配件

  • SiC包覆的石墨樣品臺

  • 真空泵 (旋轉真空泵,干式真空泵,分子泵)

  • 轉子流量控制計

  • 冷卻水流量控制器

  • 止回閥(泄壓閥)

  • 電源線,冷卻水管

  • 冷卻水循環機

  • 手提點焊機 HS-9000

  • 手提弧焊機HA-1H

日本advance riko桌面型快速退火爐MILA-5050

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