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日本shinkuu濺射導電檢測裝置MSP-20TK

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更新日期:2024-03-21

簡要描述:

日本shinkuu濺射導電檢測裝置MSP-20TK
該裝置是在電子顯微鏡樣品上涂敷金屬薄膜并進行導電處理的裝置。它具有不需要復雜操作程序的可操作性。

日本shinkuu濺射導電檢測裝置MSP-20TK

日本shinkuu濺射導電檢測裝置MSP-20TK

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該裝置是在電子顯微鏡樣品上涂敷金屬薄膜并進行導電處理的裝置。它具有不需要復雜操作程序的可操作性。
鎢主要用作靶材,還有許多其他特殊金屬可以鍍膜。
電極采用風冷磁控管方式,可實現特殊金屬的低壓鍍膜。(因為氣體中包含的電子在磁控管中移動,大大提高了電離效率。)它有助于大幅度減少樣品損壞。


關于所需的實用程序

氬氣
二次壓力0.05MPa-0.08MPa,連接1/4英寸Swagelok


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與鉑粒子(左)相比,鎢粒子(右)非常細小,支持在高倍率區域(200,000 倍以上)進行觀察。

日本shinkuu濺射導電檢測裝置MSP-20TK

主要產品規格

物品規格
電源AC100V, 15A
帶地線 3芯插頭使用3m
設備尺寸寬 354,深 368 毫米,高 430 毫米
(設備重量 22 公斤)
旋轉泵排氣速度50?/min (GLD-051)
(重量14.6kg)
樣品室尺寸內徑 149 毫米,深度 126 毫米
樣品臺Φ47mm浮法
目標樣本間距50mm-70mm
可安裝的樣品尺寸Φ45mm,高度30mm以下
目標W(標準)、Mo、Cr、Ni、Cu、Ta、Ti 等
貴金屬靶材(使用磁場抵消 Ni 板)
Pt、Pt-Pd、Au、Au-Pd、Pd、Ag





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