日本advance riko桌面型快速退火爐MILA-5050介紹說明

發布日期：2021-05-14      瀏覽次數：1604

日本advance riko桌面型快速退火爐MILA-5050介紹說明



Mila-5050是一款桌面型的快速退火爐，可用于處理φ50mm以內的樣品。
用于處理φ20mm以內的Mila-5000系列自推出以來深受客戶的認可。隨著客戶對大尺寸樣品處理需求，Advance Riko在Mila-5000的基礎上推出可處理φ50mm樣品的MILA-5050。MILA-5050延續了MILA5000的緊湊設計，是一款集成加熱爐，加熱腔及溫控器與一體的桌面型快速退火爐。

用途

• 硅片和復合圓晶的快速退火
• 電子材料的快速熱退火，例如光學CVD的基板
• 玻璃基板，陶瓷和復合材料等的熱處理
• 熱循環測試
• 金屬材料的熱退火
• 涂膜的耐熱性評估
• 有機材料和樹脂的加熱和干燥

特長

• 可對φ50mm以內的樣品進行熱處理
• 高熱處理溫度1200℃
• 集成加熱爐，加熱腔及溫控器與一體的桌面型設計
• 搭配水冷循環腔體，可進行潔凈的快速升降溫。
• 通過USB連接，可將溫控程序輸入到電腦
• 加熱過程中可通過電腦監測溫度數據；

規格

控溫范圍	RT ～ 1200 °C
升溫速率	50 °C/s
樣品尺寸	□ 50 or φ 50 × t 2 (mm)
氣氛	真空，流動氣氛